壓縮空氣中微量油（含懸浮油滴、油蒸氣）是影響高潔凈場景（電子、制藥、食品、精密氣動）的關鍵污染物。

紅外分光光度法（IR/FTIR）：利用油中 C-H 鍵在2930 cm?1、2960 cm?1、3030 cm?1的特征紅外吸收，通過四氯乙烯萃取、硅酸鎂吸附除雜后定量。

檢出限低：0.001–0.003 mg/m3，滿足 ISO 8573-1 等級（0 級，≤0.01 mg/m3）。

適用范圍廣：可測總油（懸浮油 + 油蒸氣），結果穩定、重復性好。

缺點：離線操作、流程長，需有機溶劑、無法實時監測。
實操應用：制藥潔凈車間、半導體供氣系統、食品包裝線的實驗室仲裁檢測。

重量法：大流量采樣（50–100 h），用吸附劑 / 濾膜捕集油分，精密天平稱重差值計算濃度。

局限：靈敏度極低，采樣周期極長、易受粉塵 / 水分干擾、無法區分油類型。逐步被替代。

氣相色譜法（GC）：吸附 / 熱脫附 + GC 分離，FID / 質譜檢測，可區分礦物油、合成酯、硅油等組分。
優勢：組分定性定量、檢出限可達0.005 mg/m3、適合溯源分析。
缺點：設備昂貴、操作復雜、預處理繁瑣、不適合現場快速檢測。

實操應用：油污染來源解析。

光散射法（懸浮油快速篩查）：德爾格油檢測盒5分鐘在線檢測，油滴散射光強與濃度正相關，直接測量氣流中懸浮油滴。

優勢：無需萃取、可在線，價格便宜，操作簡單。
缺點：僅測懸浮油、無法測油蒸氣、受顆粒 / 水霧干擾、低濃度（<0.01 mg/m3）誤差大。

PID 在線：10.6 eV 紫外燈電離油蒸氣，離子流與濃度成正比；響應 < 7 s、檢出限0.005 mg/m3，代表型號OILcheck400

優點：快速、實時、便攜

缺點：僅測蒸氣、漂移

核心技術瓶頸（制約高潔凈場景應用）

油形態區分難：懸浮油滴（液滴）與油蒸氣（氣態）共存，傳統方法多測 “總油"，無法分別定量，而二者對設備 / 產品的危害機制不同。

超痕量檢測極限：半導體 / 光刻場景要求 ≤0.001 mg/m3，現有離線方法檢出限接近極限，在線傳感器穩定性不足。

在線監測可靠性：長期漂移、傳感器污染、溫濕度干擾、無法自動校準。

采樣與預處理損耗：離線采樣中油滴吸附 / 解吸、蒸氣冷凝，低濃度下誤差被放大。

大灣檢測常年在客戶現場做壓縮空氣油含量檢測，水含量檢測，露點檢測，顆粒檢測，技術經驗豐富，對各類檢測設備優缺點都比較了解。